Abstract

GALEANO, July A. et al. Microfabricación de patrones de referencia en posición en portaobjetos de microscopio para el análisis de alta precisión de eventos celulares dinámicos. TecnoL. [online]. 2017, vol.20, n.39, pp.117-128. ISSN 0123-7799.

Resumen Los portaobjetos de microscopio se utilizan ampliamente como sustratos base in situ para la realización de diversos sistemas o elementos microfabricados. Para estos fines, el proceso de microfabricación consiste en transferir un diseño predefinido sobre el sustrato correspondiente a una lámina de vidrio utilizada como portaobjetos de microscopio. Este proceso se conoce como "patterning", que es una técnica que también se puede utilizar en la transferencia de diseños específicos que permite la recuperación de una región de interés (ROI) bajo el microscopio. En estos casos, aparecen dos desafíos principales: 1) Las perturbaciones en la transmisión de la luz deben permanecer mínimas para mantener la alta calidad de observación del objeto de interés bajo el microscopio. 2) El tamaño del patrón debe ser entonces suficientemente pequeño, pero, sin embargo, mayor que el límite de difracción para ser observable satisfactoriamente para propósitos de posicionamiento. En este artículo presentamos los procedimientos involucrados en la microfabricación de Patrones Pseudo-Periódicos (PPP) los cuales encriptan la posición absoluta de un área extendida. Esos patrones están embebidos en placas de Pétri para permitir la recuperación absoluta y de alta precisión de una ROI, al igual que su orientación. La microfabricación presentada se basa en una técnica conocida como "lift-off" que, tras el ajuste de parámetros, permite la obtención de PPP cumpliendo los dos requisitos anteriormente mencionados. Los resultados corresponden a la realización de PPP en portaobjetos de vidrio y compuesto por puntos laterales de 2µm hechos de aluminio con un grosor de 30nm

Keywords : Micro-tecnología; proceso lift-off; patrones pseudo-periódicos; láminas cubre-objetos de vidrio; micropatterning.

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