Resumen

DEVIA, D. M; MESA, F  y  ARANGO, P. J. Influencia de la temperatura del sustrato en la microestructura de recubrimientos de TiN/TiC. ing.cienc. [online]. 2011, vol.7, n.14, pp.71-82. ISSN 1794-9165.

Las bicapas de TiN/TiC se depositaron utilizando la técnica de deposición en fase vapor asistido por plasma (PAPVD)-Arco Pulsado, variando la temperatura del sustrato en un rango de 100-120 °C, con intervalos de 5 °C. Los recubrimientos se analizaron por medio de XPS y XRD. A partir del tratamiento de las señales de los espectros angostos de XPS y los patrones de XRD, se determino la formación de los compuestos TiN (Nitruro de Titanio), TiC (Carburo de Titanio) y TiCN (carbonitruro de titanio) en la fase cristalográfica fm-3m correspondiente a las fases FCC de estos compuestos sintetizados.

Palabras clave : Arco pulsado; Microestructura; TiN/TiC; XPS; XRD.

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