Resumo

RODRIGUEZ, Juan Sebastián; BONILLA, Sebastián  e  AVILA, Alba. Mediciones de rompimiento electrostático en separaciones micrométricas. rev.ing. [online]. 2009, n.29, pp.07-15. ISSN 0121-4993.

La continua miniaturización de dispositivos electrónicos y electro-mecánicos ha permitido el estudio de efectos no visibles a macroescalas, como es el caso del comportamiento de electrodos separados a microescala. Se presenta aquí el comportamiento de electrodos de aluminio a presión atmosférica para un rango de separaciones de 1 μm a 22 μm. Convencionalmente, el comportamiento de electrodos se describe a partir de la curva de Paschen. Los resultados demuestran que, a separaciones menores de 4 μm, el voltaje de rompimiento en los electrodos decae drásticamente y no presenta un mínimo como lo predice la curva de Paschen. Esta modificación establece condiciones críticas de operación en dispositivos basados en electrodos con separaciones a microescalas [1, 2].

Palavras-chave : Curva de Paschen; MEMS; rompimiento electrostático; voltaje de rompimiento.

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