Resumo

RESTREPO PARRA, ELISABETH; ARANGO ARANGO, PEDRO JOSE  e  BENAVIDES PALACIO, VICENTE JAVIER. ANÁLISIS ESTRUCTURAL DE BICAPAS DE TiN/TiC PRODUCIDAS POR DESCARGAS PULSADAS POR ARCO EN VACÍO. Dyna rev.fac.nac.minas [online]. 2010, vol.77, n.163, pp.64-74. ISSN 0012-7353.

se crecieron bicapas de TiN/TiC sobre sustratos de acero inoxidable 304 usando un sistema de deposición física de vapor asistida por plasma en forma de arco pulsado a dos diferentes temperaturas del sustrato (50º C y150º C). Para el análisis de la composición química se empleó la técnica de la espectroscopía de fotoelectrones de rayos X (XPS). Se observó el comportamiento de las líneas Ti2p, N1s y C1s. Los análisis de energía de enlace confirmaron la conformación de TiN y TiC. Los picos C1s y Ti2p sufrieron un corrimiento a medida que se incrementó el tiempo de esputtering, revelando contaminación debido a la presencia de hidrocarburos. Además, los perfiles de profundidad de las bicapas de TiN/TiC mostraron que las películas crecidas a una temperatura de 150 ° C tienen una capa de TiN más gruesa que las muestras crecidas a 50º C. El nitrógeno se difundió en la capa de TiC y el carbón en la capa de TiN para ambas temperaturas.

Palavras-chave : PAPVD; XPS; composición química; estequiometria; perfiles de profundidad.

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