Abstract

MARULANDA CARDONA, DIANA MARITZA  and  OLAYA FLOREZ, JHON JAIRO. PROPIEDADES ELÉCTRICAS DE NANO-MULTICAPAS DE Cr/CrN PRODUCIDAS POR LA TÉCNICA DE SPUTTERING CON MAGNÉTRÓN DESBALANCEADO. Dyna rev.fac.nac.minas [online]. 2011, vol.78, n.168, pp.53-57. ISSN 0012-7353.

Películas de nitruro de cromo (CrN) se han aplicado como recubrimientos protectores contra el desgaste y la corrosión debido a sus excelentes propiedades mecánicas y alta resistencia a la corrosión, y en el campo electrónico debido a su baja resistividad. Sin embargo, se ha encontrado que las multicapas que combinan películas metal/cerámico podrían mejorar las propiedades en comparación a sus contrapartes en monocapa debido al aumento e interacción entre interfaces. En este trabajo se produjeron nano-multicapas de Cr/CrN a través de la técnica de sputtering con magnetrón desbalanceado con tres grados de desbalanceo diferentes para estudiar la influencia de este parámetro en las propiedades eléctricas. Se crecieron multicapas con un espesor total de aproximadamente 1 µm y un período de bicapa (Λ) de 200 nm, 100 nm y 20 nm. Las multicapas se produjeron a temperatura ambiente sobre acero H13 y silicio (100) y se estudió su microestructura y las propiedades eléctricas en función del campo magnético. La formación de fases se caracterizó a través de Difracción de Rayos X y los resultados muestran las orientaciones (111) y (200) para todas las multicapas. Se obtuvieron imágenes de la sección transversal a través de Microscopía Electrónica de Barrido y los resultados muestran la formación de una estructura en multicapas.

Keywords : Multicapas; sputtering con magnetrón desbalanceado.

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