Resumo

MARULANDA, DIANA  e  OLAYA, JHON JAIRO. SISTEMA DE SPUTTERING CON MAGNETRÓN DESBALANCEADO PARA PRODUCIR RECUBRIMIENTOS EN MULTICAPAS RESISTENTES A LA CORROSIÓN. Dyna rev.fac.nac.minas [online]. 2012, vol.79, n.171, pp.74-79. ISSN 0012-7353.

En este trabajo se describe un sistema de sputtering con magnetrón desbalanceado que permite producir recubrimientos en multicapa resistentes a la corrosión. La principal ventaja de este sistema es que combina características tales como una disposición multi-cátodo, control de temperatura, control sobre la rotación del portamuestras y capacidad de intercambiar muestras sin romper el vacío. El desempeño del sistema se verificó a través de la producción de multicapas nanométricas de Cr/CrN sobre acero inoxidable 304 y silicio (100) y la evaluación de su resistencia a la corrosión. Se utilizó difracción de rayos X (DRX) pare estudiar la microestructura cristalina, y microscopía electrónica de barrido (MEB) para caracterizar la formación de la multicapa. Los resultados de DRX muestran las orientaciones (111) y (200) para las multicapas de CrN y los resultados de MEB muestran claramente la formación de una estructura en multicapa. La resistencia a la corrosión se evaluó a través de estudios electroquímicos y los resultados muestran que la multicapa de Cr/CrN presenta menor corriente de corrosión y un potencial de corrosión más alto en comparación al sustrato de acero inoxidable 304.

Palavras-chave : sputtering con magnetrón desbalanceado (UBM); corrosión; multicapas; Cr/CrN.

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