Resumo

RAMIREZ-RAMIREZ, Sebastián; SABOGAL-SUAREZ, Daniel Alejandro; DEVIA-NARVAEZ, Diego Fernando  e  RESTREPO-PARRA, Elisabeth. Estudio del comportamiento del plasma producido en una descarga de arco en vacío para diferentes materiales del cátodo. Dyna rev.fac.nac.minas [online]. 2018, vol.85, n.204, pp.76-82. ISSN 0012-7353.  https://doi.org/10.15446/dyna.v85n204.65167.

Las técnicas asistidas por plasma han sido ampliamente utilizadas para la deposición de películas delgadas y recubrimientos metalúrgicos de alta calidad. La descarga luminiscente producida en la región entre electrodos y cámara de un arco catódico fue modelada. El comportamiento del plasma fue caracterizado para diferentes materiales del cátodo comúnmente utilizados en descarga de arco catódico. Se encontró que la temperatura electrónica, densidad y potencial eléctrico decrecen como función de la distancia desde la región de puntos catódicos. Sin embargo, la energía cinética del ion tiende a incrementar debido a la aceleración de los iones provenientes de la región central del arco. Nuestros resultados muestran que el arco catódico no es directamente afectado por el potencial del plasma de la descarga luminiscente y que el material del cátodo tiene una influencia importante en el comportamiento del plasma, principalmente debido a la conductividad eléctrica y térmica de cada material.

Palavras-chave : modelamiento; descarga de arco; comportamiento estacionario del plasma; material del cátodo.

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