Resumo

OLAYA, Jhon Jairo; MARULANDA, Diana Maritza  e  RODIL, Sandra. Orientación preferencial en nitruros metálicos depositados con el sistema UBM. Ing. Investig. [online]. 2010, vol.30, n.1, pp.125-129. ISSN 0120-5609.

El propósito de este trabajo es el de estudiar la influencia del bombardeo de iones sobre la orientación preferencial (OP) en nitruros metálicos de transición (NMT) producidos utilizando la técnica de sputtering reactivo con magnetrón desbalanceado variable mediante imanes permanentes (UBM). Para ello, se estudiaron recubrimientos de nitruro de titanio (TiN) variando dos parámetros: la razón iones-átomos sobre el sustrato (Ji/Ja) y el flujo de nitrógeno. Las condiciones de depósito fueron: presión de trabajo de 7 mtorr, temperatura del sustrato ~ 380ºC, flujo de nitrógeno 2 y 8,5 sccm, y las potencias de la descarga variaron entre 245 W y 265 W. Los resultados demuestran que la orientación preferencial (111) y la cristalinidad de los recubrimientos producidos depende más del flujo de nitrógeno que del bombardeo iónico. De manera similar, la microdureza medida en películas depositadas sobre sustratos de acero AISI-M2 aumentó desde 1.600 hasta 2.000 HV0.025  al incrementarse el flujo de nitrógeno.

Palavras-chave : nitruros metálicos; magnetrón desbalanceado; UBM; sputtering reactivo.

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