Resumen

QUESADA, Franz  y  MARINO, Álvaro. Recubrimientos de TiAlN sobre acero ASTM A36 por el proceso de sputtering reactivo RF. Rev.fac.ing.univ. Antioquia [online]. 2006, n.37, pp. 107-114. ISSN 0120-6230.

Películas de TiAlN fueron depositadas sobre acero ASTM A36 por el proceso de sputtering reactivo RF utilizando un blanco en polvo con composición TiAl (60/40%), en el proceso se utilizaron dos relaciones de presión (P_N/P_Total), 0,05 y 0,1, manteniendo constante la presión de argón. Las películas se depositaron sobre probetas en estado de suministro, templadas y revenidas, nitruradas por plasma, con recubrimientos previos de Ti y TiN a una temperatura de 230 oC. Las películas presentaron una composición Ti_0.4Al_0.6N con orientación preferencial (200); las mejores propiedades de dureza, resistencia a la corrosión, resistencia al desgaste fueron con la relación de presión de 0,1 y la mayor adherencia con la relación de presión de 0,05. La máxima dureza fue de 2500 HK.

Palabras llave : películas de TiAlN; sputtering reactivo R.F.