Abstract

DUARTE, Julio Enrique et al. Metrología por fibra óptica para la detección de pequeños desplazamientos. Rev.fac.ing.univ. Antioquia [online]. 2010, n.56, pp.151-159. ISSN 0120-6230.

En este trabajo se presenta una metodología para la medida de deflexiones en el rango de las mieras en membranas termoneumáticas de silicio. El método se basa en la interferometría por fibra óptica con el cual se estudió el comportamiento estático de una membrana de silicio de 10 µm de grosor, 5 µm de lado y 300 µm de bulk, la cual se pegó sobre un porta muestras de vidrio. Por medida estática se entiende la medida de la deflexión de las membranas considerando únicamente la respuesta de éstas a la fuente de radiación infrarroja que las estimula.

Keywords : Interferometría; fibra óptica; micromembranas de silicio.

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