Resumo

ARIAS, D. F; PEREZ, D  e  GONZALEZ, J.M. Una revisión del estado del arte de la medida de la nanodureza usando el Microscopio de Fuerza Atómica. Entre Ciencia e Ingenieria [online]. 2015, vol.9, n.18, pp.67-74. ISSN 1909-8367.

Resumen En la nanociencia y en la nanotecnología, una de las herramientas más poderosas es el microscopio de fuerza atómica (AFM siglas en inglés). Instrumento que sirve para caracterizar los materiales a nivel superficial. Dentro de esas características está evaluar la dureza a escala manometría (nanodureza), utilizando el método de nanoindentación en el modo de espectroscopia. En materiales como las películas delgadas en los que sus espesores son del orden de decenas de nanómetros de espesor, el equipo adecuado para medir la dureza es el AFM. En este artículo se pretende realizar una primera aproximación a algunos modelos usados para evaluar la dureza usando el AFM a partir del modelo elástico.

Palavras-chave : nanodureza; microscopio de fuerza atómica; modelo de Oliver Pharr; espectroscopia de fuerzas.

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