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<article-title xml:lang="es"><![CDATA[TÉCNICAS DE INDENTACIÓN: MEDICIÓN DE PROPIEDADES MECÁNICAS EN CERÁMICAS]]></article-title>
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<abstract abstract-type="short" xml:lang="en"><p><![CDATA[Indentation techniques offer a width spread possibilities to measure mechanical properties in small volumes ranged from 0.001 µm3, to volumes of several mm3, useful in both bulk and in composite materials. This paper discus some of the fundamentals of the indentation theory and shows some important draw falls when indentation techniques are utilized to evaluate mechanical properties of ceramic materials. Among the properties are hardness, fracture toughness, elastic modulus and film adherence to substrate. To achieve it, bulk ceramic materials as Al2O3, Barium Titanate BaTiO3 and TiN films deposited onto M2 tool steel were used as a case study.]]></p></abstract>
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</front><body><![CDATA[ <p align="center"><b>T&Eacute;CNICAS DE INDENTACI&Oacute;N: MEDICI&Oacute;N DE PROPIEDADES MEC&Aacute;NICAS EN CER&Aacute;MICAS</b></p>     <p align="center"><b>INDENTATION TECHNIQUES: MECHANICAL PROPERTIES MEASUREMENT OF CERAMICS</b></p>     <p align="center">  <b>JUAN MANUEL MEZA</b>    <br> <i>Universidad Pontificia Bolivariana- Medell&iacute;n.: <a href="mailto:jmmmeza@upb.edu.co">jmmmeza@upb.edu.co</a></i></p>     <p align="center"><b>CESAR A. CHAVES</b>    <br>   <i>Grupo Ciencia y Tecnolog&iacute;a de Materiales. Universidad Nacional de Colombia   - Medell&iacute;n.</i></p>     <p align="center"><b>JUAN MANUEL V&Eacute;LEZ</b>    <br>   <i>Grupo Ciencia y Tecnolog&iacute;a de Materiales. Universidad Nacional de Colombia   - Medell&iacute;n.</i></p>     <p align="center">Recibido para revisar 18 de Agosto de 2004, aceptado 28 de Febrero de 2005,   versi&oacute;n final 5 de Diciembre de 2005</p>     <p><b>RESUMEN:</b> Las t&eacute;cnicas de indentaci&oacute;n poseen una gran versatilidad   que permite evaluar propiedades mec&aacute;nicas en vol&uacute;menes inferiores   a 0.001 &#181;m3, hasta vol&uacute;menes del orden de los mm3, &uacute;til tanto   en materiales compuestos como en volumen. Este art&iacute;culo hace una revisi&oacute;n   general de los fundamentos de &eacute;stas t&eacute;cnicas. Tambi&eacute;n   se muestran algunas de las dificultades que surgen cuando &eacute;stas son   aplicadas a la medici&oacute;n de propiedades mec&aacute;nicas de materiales   cer&aacute;micos, tales como su dureza tenacidad a la fractura, m&oacute;dulo   de elasticidad y adherencia de capas cer&aacute;micas en sustratos met&aacute;licos.   Para esto se utilizan algunos materiales cer&aacute;micos en volumen como al&uacute;mina   Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>, Titanato de Bario BaTiO<sub>3</sub> y capas TiN depositadas sobre acero M2.</p>     ]]></body>
<body><![CDATA[<p><b>PALABRAS CLAVE:</b> Propiedades mec&aacute;nicas, cer&aacute;micas, indentaci&oacute;n. </p>     <p><b>ABSTRACT:</b> Indentation techniques offer a width spread possibilities to measure   mechanical properties in small volumes ranged from 0.001 &#181;m3, to volumes of   several mm3, useful in both bulk and in composite materials. This paper discus   some of the fundamentals of the indentation theory and shows some important   draw falls when indentation techniques are utilized to evaluate mechanical   properties of ceramic materials. Among the properties are hardness, fracture   toughness, elastic modulus and film adherence to substrate. To achieve it,   bulk ceramic materials as Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>, Barium Titanate BaTiO<sub>3</sub> and TiN films deposited   onto M2 tool steel were used as a case study.</p>     <p><b>KEY WORDS:</b> Mechanical properties, ceramics, Indentation.    <br>         <br>     <b>1.	INTRODUCCI&Oacute;N</b></p>     <p>Los materiales cer&aacute;micos son utilizados en campos muy diversos, como   en construcci&oacute;n mec&aacute;nica, microelectr&oacute;nica y en recubrimientos   para la protecci&oacute;n de superficies. </p>     <p>Independientemente de su composici&oacute;n y estructura estos son fr&aacute;giles,   pero muchos de ellos son ampliamente utilizados en aplicaciones en donde se   requiere alta dureza, resistencia al desgaste y otras propiedades en un amplio intervalo de temperaturas.</p>     <p> Sin embargo, la incapacidad del material para deformarse pl&aacute;sticamente   antes del agrietamiento, propiedad conocida como fragilidad que depende de   propiedades como el m&oacute;dulo de Young (E), la dureza (H) y tenacidad a   la fractura (K1C) (Quinn 1997), ha frenado su posibilidad de aplicaci&oacute;n.   Todas estas propiedades se pueden determinar a trav&eacute;s de t&eacute;cnicas   de indentaci&oacute;n. Sin embargo, el uso correcto de &eacute;stas requiere   conocer sus limitaciones para as&iacute; evitar interpretaciones err&oacute;neas.   En este art&iacute;culo se discuten los fundamentos de las t&eacute;cnicas   de Indentaci&oacute;n sin pretender hacer una revisi&oacute;n bibliogr&aacute;fica   exhaustiva ya que la misma se puede hallar en algunas de las referencias citadas.   Tambi&eacute;n se muestran algunas aplicaciones concretas en recubrimientos   y cer&aacute;micos en volumen, materiales como el BaTiO<sub>3</sub>, Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>, TiN-M2, seleccionados   por que presentan aplicaciones en &aacute;reas de inter&eacute;s como la microelectr&oacute;nica,   aplicaciones estructurales y herramientas de corte (resistencia al desgaste) respectivamente.</p>     <p> <b>2.	LA T&Eacute;CNICA DE INDENTACI&Oacute;N</b></p>     <p> <b>2.1	Fundamentos</b></p>     ]]></body>
<body><![CDATA[<p> Esta t&eacute;cnica fue implementada por Brinell hacia los a&ntilde;os 1900.   Los trabajos de Tabor D 1952 y 1984 muestran de manera clara todo el estado   del arte de esta t&eacute;cnica aplicada al estudio de la dureza de los materiales met&aacute;licos.</p>     <p> El ensayo de indentaci&oacute;n, consiste en presionar un indentador sobre   la superficie dejando una impresi&oacute;n sobre el material como se muestra en la <a href="#fig01">figura 1</a>.</p>     <p> <a name="fig01"></a><img src="/img/revistas/dyna/v73n149/a07fig01.gif" border="0"></p>     <p><b>Figura 1.</b> Huella en forma piramidal producida al aplicar una carga   sobre un material fr&aacute;gil a trav&eacute;s de un indentador Vickers. a)   Se muestran grietas radiales en los v&eacute;rtices de la indentaci&oacute;n   y la longitud de la diagonal &#8220;d&#8221;. b) vista en planta. c) corte   a trav&eacute;s de la diagonal.    <br>     <b>Figure 1.</b> A schematic of a Vickers imprint left in brittle materials.     a) Radial cracks at vertices and diagonal &#8220;d&#8221; length are shown.     b) top view. c) Through diagonal section.</p>     <p>Dependiendo de la carga m&aacute;xima aplicada y de la geometr&iacute;a   de la huella dejada se puede obtener el valor de la dureza que no es m&aacute;s   que la presi&oacute;n de contacto media durante la carga m&aacute;xima, esto   equivale a definirla como la resistencia de un material a ser deformado permanentemente.   Hoy en d&iacute;a uno de los indentadores m&aacute;s utilizado es el tipo Vickers   y por tanto nos centraremos en &eacute;ste.    <br>       <br>   T&iacute;picamente, para cargas de entre 15gr y 2 Kg el ensayo es conocido   como ensayo de microindentaci&oacute;n en el cual el &aacute;rea de contacto   proyectada se mide despu&eacute;s de retirado el indentador, as&iacute; la   dureza se calcular&aacute; seg&uacute;n su definici&oacute;n y la <a href="#fig01">figura 1</a>como </p>     <p> <img src="/img/revistas/dyna/v73n149/a07eq01.gif" width="227" height="30"></p>     <p> N&oacute;tese que esta definici&oacute;n supone que la diagonal d de la indentaci&oacute;n   no cambia durante la descarga, simplificaci&oacute;n no v&aacute;lida pero   que no produce errores significativos en materiales con poca recuperaci&oacute;n   el&aacute;stica. Sin embargo, esto debe ser tenido en cuenta particularmente a bajas cargas y materiales altamente el&aacute;sticos.</p>     ]]></body>
<body><![CDATA[<p>Algunos equipos para la medida de esta propiedad   permiten registrar la carga y los desplazamientos durante la aplicaci&oacute;n   de la carga y la descarga, lo que permite obtener otras propiedades mec&aacute;nicas.   El ensayo as&iacute; realizado   es conocido como ensayo de dureza instrumentado o nanoindentaci&oacute;n. Las   cargas utilizadas oscilan entre 1&#181;N y 300 mN (30 gr). La resoluci&oacute;n   de estos equipos es de unos 0.2 &#181;N en la carga y 2 nm en los desplazamientos. </p>     <p>Los ensayos de dureza instrumentada fueron desarrollados para evitar medir   el &aacute;rea de contacto dado que a los valores de carga empleados la medida   de las diagonales es una tarea dif&iacute;cil. Los primeros trabajos se realizaron   de manera sistem&aacute;tica hacia finales de los a&ntilde;os 70 (Frohlich   et al 1977) y durante inicios de la d&eacute;cada de los ochenta (Newey 1982,   Pethica et al 1983, Loubet et al 1986), dando lugar a un simposio sobre el   tema (Blau P. Lawn B, 1984). No fue si no hasta el a&ntilde;o 1986 cuando Doerner   y Nix realizaron un trabajo m&aacute;s comprensivo, trabajo que posteriormente   fue mejorado por Oliver y Pharr en 1992, quienes propusieron un m&eacute;todo   para la interpretaci&oacute;n de los ensayos de nanoindentaci&oacute;n, m&eacute;todo   que hasta hoy en d&iacute;a es el m&aacute;s utilizado. Vale la pena mencionar   que existen varias revisiones sobre este tema y a las que el lector deber&aacute; remitirse   Fisher A. C. 2000, VanLandingham M. 2003, Oliver W. et al 2004.</p>     <p>En los ensayos de indentaci&oacute;n instrumentada, el &aacute;rea de contacto   es inferida a partir de los datos de carga y desplazamiento y de la geometr&iacute;a   del indentador empleado. La curva carga contra desplazamiento (P-h) obtenida,   permite calcular la dureza, el m&oacute;dulo de Young, entre otras propiedades.   En la <a href="#fig02">figura 2</a> se muestra una curva P-h t&iacute;pica de un ensayo de nanoindentaci&oacute;n   as&iacute; como los par&aacute;metros m&aacute;s importantes para la obtenci&oacute;n   del &aacute;rea de contacto a carga m&aacute;xima (<a href="#fig02">figura   2a y 2b</a>) y la medici&oacute;n   de la dureza y el m&oacute;dulo de elasticidad. Una breve descripci&oacute;n   de estos par&aacute;metros, tal y como fueron desarrollados por Oliver y Pharr   1992, se muestra a continuaci&oacute;n:</p>     <p><a name="fig02"></a><img src="/img/revistas/dyna/v73n149/a07fig02.gif" border="0"> </p>     <p> <b>Figura 2. </b>(a) Perfil de una huella producida por un indentador Vickers   (durante y despu&eacute;s de la aplicaci&oacute;n de la carga) (b) Curva de   carga - desplazamiento producida durante el contacto, Pm: corresponde a la   carga m&aacute;xima, hm: a la penetraci&oacute;n m&aacute;xima, hf: a la profundidad   final de la huella o profundidad residual, S: es la tangente a la curva de   descarga (rigidez), hc: a la profundidad de contacto lograda durante la aplicaci&oacute;n   de la carga m&aacute;xima, hs: es la altura por encima de la de contacto con   respecto a la superficie de la muestra.    <br>       <b>Figure 2.</b> a) A Schematic of Vickers imprint profile during and after       load applying. b) A Schematic load-depth indenter displacement data, Pm:       maximum load, hm: maximum depth, hf: final depth, S: unload slope or stiffness,       hc: contact depth at maximum load, hs: depth between surface and contact       depth.</p>     <p>La rigidez del sistema S, en la cual intervienen tanto la rigidez de la m&aacute;quina   como del contacto. Por conveniencia se utiliza el inverso de S, rigidez inversa,   que se representa por el s&iacute;mbolo C (del ingl&eacute;s compliance) y   que tiene dos componentes: Cf, relacionada con la m&aacute;quina y Cs relacionada   con la probeta, modeladas como dos resortes en serie su relaci&oacute;n es:</p>     <p> <img src="/img/revistas/dyna/v73n149/a07eq02.gif" width="228" height="32"></p>     <p>Con este valor se calcula la altura de contacto:</p>     <p><img src="/img/revistas/dyna/v73n149/a07eq03.gif" width="226" height="34"> </p>     ]]></body>
<body><![CDATA[<p>Luego si la geometr&iacute;a del indentador es perfecta el &aacute;rea de   contacto se calcula como:</p>     <p><img src="/img/revistas/dyna/v73n149/a07eq04.gif" width="185" height="19"> </p>     <p>Sin embargo, los indentadores siempre presentan desviaciones en el &aacute;ngulo   de tallado y tienen alguna redondez en su punta lo que obliga a corregir esta   ecuaci&oacute;n para lo cual existen varias t&eacute;cnicas (Oliver et al 2004,   Antunes J. et al 2002), entre las mas utilizadas est&aacute; la de Oliver y   Pharr que adem&aacute;s de proveer conocer la geometr&iacute;a del indentador   permite obtener la complianza de la maquina.</p>     <p>Conocida el &aacute;rea de contacto se puede calcular la dureza del material   como:</p>     <p><img src="/img/revistas/dyna/v73n149/a07eq05.gif" width="227" height="34"> </p>     <p>Definido el m&oacute;dulo de elasticidad reducido como</p>     <p>se puede calcular el   valor del m&oacute;dulo de elasticidad del material     indentado a trav&eacute;s de la ecuaci&oacute;n:</p>     <p><img src="/img/revistas/dyna/v73n149/a07eq06.gif" width="228" height="39"></p>     <p>La teor&iacute;a desarrollada para el c&aacute;lculo de dureza mediante ensayos   de nanoindentaci&oacute;n supone que el material es idealmente elastopl&aacute;stico   y que el material se hunde alrededor del indentador como se muestra en las   <a href="#fig02">figuras 2a y 3a</a> (Oliver y Pharr 1992). Afortunadamente, los materiales cer&aacute;micos   tienden a presentar &eacute;ste hundimiento y no hay apilamiento alrededor   de la indentaci&oacute;n como sucede en los materiales r&iacute;gidos pl&aacute;sticos,   en los cuales la t&eacute;cnica produce grande errores (Bolshakov et al 1998).</p>     <p>N&oacute;tese que las ecuaciones 3 y 4 proveen el &aacute;rea de contacto   durante la carga m&aacute;xima. Sin embargo, es de esperarse, debido a que   hay una recuperaci&oacute;n el&aacute;stica durante la descarga, que la huella   cambie de geometr&iacute;a. En estas condiciones la dureza calculada a trav&eacute;s   de t&eacute;cnicas de nanoindentaci&oacute;n, a&uacute;n cuando se cumpla la   condici&oacute;n de hundimiento, ser&aacute; diferente a la dureza calculada   a trav&eacute;s de la medici&oacute;n del &aacute;rea de contacto despu&eacute;s   de retirada la carga, que es com&uacute;nmente utilizada en ensayos de micro   y macroindentaci&oacute;n.</p>     ]]></body>
<body><![CDATA[<p>Por otra parte, las t&eacute;cnicas de micro y macroindentaci&oacute;n, tambi&eacute;n   son susceptibles de error en la medici&oacute;n del &aacute;rea proyectada.   Por ejemplo, en la <a href="#fig03">figuras 3a</a> en la que se esquematiza la indentaci&oacute;n   en un material elasto-pl&aacute;stico (con relaciones E/H bajos e &iacute;ndices   de endurecimiento mayores que cero), el material bajo la zona endurecida por   deformaci&oacute;n act&uacute;a un como un colch&oacute;n permitiendo el hundimiento   y formando una &#8220;huella en forma de alfiler&#8221;, dado que el material   est&aacute; m&aacute;s restringido para fluir en los v&eacute;rtices, hacia   el centro se espera mayor hundimiento, por lo tanto el &aacute;rea de contacto   real ser&aacute; la que esta dada por los bordes de la indentaci&oacute;n y   no por sus diagonales. Por otra parte, en la <a href="#fig03">Figura 3b</a> en la que se esquematiza   la indentaci&oacute;n en un material r&iacute;gido-pl&aacute;stico (con relaciones   E/H altos e &iacute;ndices de endurecimiento iguales a cero), la rigidez del   material obliga al material a fluir hacia los lados del indentador produciendo   apilamiento &#8220;huella en forma de barril&#8221;, por lo tanto el &aacute;rea   de contacto correcta est&aacute; dada por el borde de la indentaci&oacute;n,   y no por las diagonales de la indentaci&oacute;n. Esto mismo parece ser cierto   para materiales con mucha recuperaci&oacute;n el&aacute;stica, aunque en la   literatura se encuentran algunas ambig&uuml;edades (Oliver et al 1992, Oliver   et al 2004).</p>     <p><a name="fig03"></a><img src="/img/revistas/dyna/v73n149/a07fig03.gif" border="0"></p>     <p> <b>Figura 3.</b> Patrones de deformaci&oacute;n elastopl&aacute;stica por   contacto. a). Materiales ideales elasto-pl&aacute;sticos &#8220;huella en forma   de alfiler&#8221; t&iacute;pica de materiales con relaciones E/H bajas e &iacute;ndice   de endurecimiento mayor a cero. b) Materiales r&iacute;gido-pl&aacute;sticos, &#8220;huella   en forma de barril&#8221; t&iacute;pica de materiales con relaciones E/H altas   e &iacute;ndice de endurecimiento igual a cero.    <br>     <b>Figure 3.</b> Elasto-plastic contact patterns. a) Ideal elasto-plastic     behavior corresponding to low E/H ratios and non cero hardening index materials     (pincushion shaped imprint), b) rigid-plastic behavior corresponding to high     E/H ratios and cero hardening index materials (barrel shaped imprints.)</p>     <p>En la <a href="#fig04">figura 4</a> se muestra un gr&aacute;fico t&iacute;pico de dureza con el   aumento de la carga para materiales cer&aacute;micos en volumen y capas duras   sobre sustratos blandos. Se nota que para cargas altas se obtiene un valor   constante de dureza, sin embargo a medida que se disminuye la carga en la regi&oacute;n   de microindentaci&oacute;n la dureza comienza aumentar. Este fen&oacute;meno   es debido a una combinaci&oacute;n de efectos tales como la generaci&oacute;n   de grietas, fricci&oacute;n en la interfase indentador/muestra, recuperaci&oacute;n   el&aacute;stica, entre otros (Quinn J. et al 1998). Es importante anotar, que   en muchos casos el agrietamiento, inclusive a cargas moderadas, es tan extensivo,   que los bordes de la indentaci&oacute;n no pueden ser definidos con claridad.   Actualmente existen normas como la ASTM C1327-99, que define cuales son los   patrones adecuados o permisibles.</p>     <p><a name="fig04"></a><img src="/img/revistas/dyna/v73n149/a07fig04.gif" border="0"></p>     <p> <b>Figura 4. </b>Variaci&oacute;n de la dureza al disminuir el tama&ntilde;o de la   huella (o la carga) de indentaci&oacute;n en materiales cer&aacute;micos en   volumen.    <br>   <b>Figure 4.</b> A schematic of hardness Vs load dependence in bulk ceramic materials.</p>     <p>Finalmente   a cargas consideradas de nanoindentaci&oacute;n la dureza puede   continuar aumentando o volver a disminuir, las razones para esto todav&iacute;a   est&aacute;n en discusi&oacute;n, y parece haber un efecto combinado o &uacute;nico   de la miroestructura y/o topograf&iacute;a del material estudiado; adem&aacute;s   de esto la geometr&iacute;a del indentador es muy importante ya que si este   es muy redondeado se inducen presiones de contacto peque&ntilde;as comparadas   con las de indentadores con punta perfecta, lo que reduce la cantidad de material   deformado plasticamente y por lo tanto disminuye el valor de dureza medido   (Bouzakis K. 2003, Nix W. 1998, Meza J. M. 2004).</p>     <p>Debido a esto, los valores de dureza obtenidos ser&aacute;n afectados por   diferentes fen&oacute;menos de deformaci&oacute;n pl&aacute;stica, agrietamiento,   geometr&iacute;a del indentador utilizado y topograf&iacute;a de la superficie   indentada. Adicionalmente, el &aacute;rea utilizada para el c&aacute;lculo   de la propiedad es definida por quien est&aacute; empleando la t&eacute;cnica,   por ejemplo puede escogerse el &aacute;rea real o proyectada de contacto despu&eacute;s   de descarga (dureza Vickers &#8220;Hv&#8221; o dureza &#8220;H&#8221; respectivamente)   o el &aacute;rea de contacto a carga m&aacute;xima (dureza en nanoindentaci&oacute;n   Hop) o el &aacute;rea derivada de la profundidad m&aacute;xima (dureza martens   HM), etc., luego la dureza no es estrictamente una propiedad. Sin embargo,   muchos autores comparan err&oacute;neamente la dureza Hop con H, lo que seg&uacute;n   lo discutido anteriormente no siempre es v&aacute;lido.</p>     ]]></body>
<body><![CDATA[<p> <b>2.2.	Agrietamiento producido durante el contacto, medici&oacute;n   de k1c y adherencia</b></p>     <p>Los materiales cer&aacute;micos son fr&aacute;giles, tienden a sufrir agrietamiento   cuando son sometidos a contacto con otros cuerpos. Los patrones de agrietamiento   producidos pueden ser utilizados para la medici&oacute;n de la tenacidad a   la fractura y la adhesi&oacute;n de capas cer&aacute;micas. La mec&aacute;nica   de la fractura de estos procesos puede ser consultada en las referencias (Lawn   et al 1975, Meza J. M. 2004, 2001). </p>     <p>Las grietas producidas en cer&aacute;micos en volumen por la indentaci&oacute;n   Vickers generan un patr&oacute;n como el mostrado en la <a href="#fig01">figura   1</a>, adem&aacute;s   de otros tipos de grietas llamadas laterales y c&oacute;nicas (Hagan J. T.,   1979). Desarrollos de mec&aacute;nica de fractura el&aacute;stica y contacto   elastopl&aacute;stico han conducido a establecer que la tenacidad a la fractura   de cer&aacute;micas en volumen puede ser calculada a trav&eacute;s de la siguiente   ecuaci&oacute;n (Evans &amp; Charles 1976, Anstis et al. 1981):</p>     <p><img src="/img/revistas/dyna/v73n149/a07eq07.gif" width="227" height="44"> </p>     <p> En donde C es la longitud de la grieta radial medida en la superficie desde     el v&eacute;rtice de la indentaci&oacute;n hasta el final de &eacute;sta     grieta. Cabe anotar que tanto las grietas laterales como las c&oacute;nicas     pueden interferir en la medici&oacute;n de K1C (Pharr G. M. et al 1994).     Se debe tener en cuenta que la dureza utilizada en la deducci&oacute;n de     la ecuaci&oacute;n 7 es la correspondiente a la zona de macroindentaci&oacute;n     (<a href="#fig04">Fig. 4</a>) o dureza constante y es definida como P/Area proyectada. Hay una     gran cantidad de situaciones en las que esta ecuaci&oacute;n produce errores,     a saber: materiales con valores de E/H muy diferentes de 25, relaciones C/d     menores a 1.5, materiales con crecimiento subcr&iacute;tico de grieta, materiales     con esfuerzos residuales, una discusi&oacute;n extensa sobre estas limitaciones     se puede hallar en Meza J. M. 2001.</p>     <p>En la <a href="#fig05">figura 5</a> se muestra los patrones superficiales t&iacute;picos encontrados   en la literatura para sistemas capa-sustrato. </p>     <p><a name="fig05"></a><img src="/img/revistas/dyna/v73n149/a07fig05.gif" border="0"></p>     <p>  <b>Figura 5. </b>Algunos tipos de grietas producidos durante la indentaci&oacute;n   con indentadores piramidales de capas cer&aacute;micas sobre sustratos &#8220;blandos&#8221;.   Dependiendo de las caracter&iacute;sticas de deformaci&oacute;n elastopl&aacute;stica   se producen las diferencias mostradas.    <br>   <b>Figure 5.</b> Schematic of some crack patterns left in hard coatings onto soft   substrates by a pyramidal indenter. Different patters are shown according to elasto-plastic materials behavior.</p>     <p>Los distintos tipos de grietas generados han conducido a diferentes modelos   de medici&oacute;n de K1C en la interfase capa sustrato (que se puede interpretar   como una medida de adherencia); por ejemplo las grietas laterales han sido   utilizadas para medir la adherencia de capas cer&aacute;micas de ZnO sobre   Si (Chiang et al 1982) y en capas de Carb&oacute;n amorfo sobre silicio (Li   X et al 1997). Pharr et al 1994 encontraron que para algunos capas cer&aacute;micas   a cargas bajas, t&iacute;picas de nanoindentaci&oacute;n, y usando indentadores   tipo esquina de cubo, que producen esfuerzos mucho mayores que un indentador   Vickers a la misma profundidad, se pueden generar grietas radiales como las   mostradas en la <a href="#fig05">figura 5</a>. Con esto se evita la influencia del sustrato y se   puede medir K1C de la capa. Como se puede ver los diversos patrones necesariamente   generan modelos diferentes de mec&aacute;nica de la fractura, por lo que no   se ha logrado un consenso para medir las propiedades de tenacidad a la fractura   de la capa y de la interfase capa-sustrato (Meza J M 2004). </p>     ]]></body>
<body><![CDATA[<p>Por otro lado, las huellas obtenidas con identadores c&oacute;nicos (Rockwell   C), producen patrones similares a los mostrados en la <a href="#fig05">figura   5</a>, dada la simetr&iacute;a &eacute;ste   indentador, esos patrones y el apilamiento son m&aacute;s homog&eacute;neos   que los producidos por indentaci&oacute;n Vickers.</p>     <p>Cuando los materiales sustrato utilizados para la deposici&oacute;n de una   capa son met&aacute;licos, el sistema generalmente presenta apilamiento en   el borde de la identaci&oacute;n, esto genera esfuerzos de tensi&oacute;n radiales   y circunferenciales adem&aacute;s de una gran presi&oacute;n lateral que obligan   a un desprendimiento de la capa m&aacute;s notorio que en el caso de indentadores   piramidales, raz&oacute;n por la cual los indentadores tipo Rockwell C se muestran   m&aacute;s propicios para la caracterizaci&oacute;n de la adherencia de la capa al sustrato.</p>     <p> <b>3.	APLICACIONES</b></p>     <p> <b>3.1.	Materiales y m&eacute;todos</b></p>     <p> Los materiales utilizados fueron Titanato: de Bario obtenido por reacci&oacute;n   en estado s&oacute;lido (ver detalles de fabricaci&oacute;n en Meza J. M 2001),   Nitruro de Titanio depositado sobre acero M2 por medio de deposici&oacute;n   f&iacute;sica de vapor (ver detalles de fabricaci&oacute;n en Meza J. M 2004) y Al&uacute;mina comercial de 99% de pureza.</p>     <p>Para realizar las indentaciones se utilizaron los siguientes equipos: un microdur&oacute;metro   Buehler MM3 con capacidad de entre 10mN y 20N, equipado con pir&aacute;mide   Vickers y un microsc&oacute;pio de hasta 1000X, con reglilla calibrada para   las mediciones. Un dur&oacute;metro marca Buehler VM7 con capacidad de entre   10N y 500N, equipado con pir&aacute;mides Vickers y cono Rockwell C de di&aacute;metro   0,2mm en la punta y un microsc&oacute;pio de 400X, con reglilla calibrada para   las mediciones) y otro equipo Wolpert con punta Rockwell C con capacidad de   entre 150N y 2500N.Tambi&eacute;n se utiliz&oacute; un nanoindentador Fischercope   H100V con pir&aacute;mide Vickers con capacidad de entre 0.4mN y 1000 mN. </p>     <p>Las im&aacute;genes se obtuvieron en: Microsc&oacute;pio &oacute;ptico Olympus   PME 3, que est&aacute; conectado a trav&eacute;s de una c&aacute;mara CCD a   un analizador de imagen Leyca Q500IW, microscopio electr&oacute;nico de barrido   MEB JEOL 5900LV Microsc&oacute;pio de fuerza at&oacute;mica MFA multitask system   Auto Probe CP.</p>     <p><b>3.2.	Nanoidentaci&oacute;n</b></p>     <p> En la <a href="#fig06">figura 6a</a> se muestra dos curvas P-h para una muestra de al&uacute;mina   de 99% de pureza, la flecha se&ntilde;ala un evento de penetraci&oacute;n espont&aacute;nea &#8220;pop   in&#8221; del indentador, que generalmente est&aacute; asociado a agrietamiento   del material. En la <a href="#fig06">Figura 6b</a> se muestra la variaci&oacute;n de la dureza con   la carga aplicada para cargas t&iacute;picas de nanoindentaci&oacute;n. A 10   mN la diagonal inferida de los datos es de aproximadamente 0,7 &#181;m, esta dimensi&oacute;n   dada la poca profundidad de la huella, es dif&iacute;cil de medir con instrumentos   como microscopio de barrido (MEB) por lo cual la t&eacute;cnica de nanoindentaci&oacute;n   es muy &uacute;til en estos casos. Note como esta figura tiene el comportamiento   antes descrito en la <a href="#fig04">figura 4</a>, en este caso la disminuci&oacute;n de dureza   a cargas inferiores a 20 mN se debe a un efecto combinado de la redondez de   la punta del indentador utilizado y de la rugosidad de la muestra examinada   (Meza J M. 2004). A cargas mayores a 20 mN la dureza disminuye con la carga,   efecto del tama&ntilde;o de la indentacion (ISE). Algunos equipos de nanoindentaci&oacute;n   tienen acoplados m&oacute;dulos de emisi&oacute;n ac&uacute;stica que permiten   detectar los primeros agrietamientos, e inclusive el tipo de grieta que se   produce, lo cual es de mucha utilidad para establecer la mec&aacute;nica de   la fractura de los materiales. </p>     <p><a name="fig06"></a><img src="/img/revistas/dyna/v73n149/a07fig06.gif" border="0"></p>     ]]></body>
<body><![CDATA[<p>    <b>Figura 6.</b> a) Curvas P-h a 10 y 20 mN para al&uacute;mina, b) Variaci&oacute;n     de la dureza (obtenida por nanoindentaci&oacute;n) con la carga aplicada     para al&uacute;mina de alta pureza. Las barras representan 2 desviaciones est&aacute;ndar.    <br> <b>Figure 6.</b> a) P-h plots obtained for alumina at 10 and 20 mN, b) nanoindentation hardness Vs load plot for alumina. The error bars are two standard deviations in length.</p>     <p>Las <a href="#fig07">figuras 7</a> y <a href="#fig08">8</a> muestran los resultados de indentaciones Vickers hechas   en un sistema capa TiN de 3&#181;m de espesor sobre sustrato met&aacute;lico de   acero M2, la dureza fue evaluada para cargas comprendidas entre 5mN y 150 Kg.</p>     <p><a name="fig07"></a><img src="/img/revistas/dyna/v73n149/a07fig07.gif" border="0"></p>     <p> <b>Figura 7.</b> Curvas P-h a diferentes cargas para un sistema TiN/M2, a)   corresponde al regi&oacute;n R2 <a href="#fig08">Fig 8</a>, b-c) a las regiones R3 y R4 respectivamente.   M2S-B: probeta recubierta con TiN, M2S: acero M2 sin recubrir.    <br>       <b>Figure 7.</b> P-h plots at different load levels obtained for a TiN/M2       system, a) corresponds to R2 region in <a href="#fig08">Fig. 8</a>, b-c) corresponds to R3 and R4 respectively. M2S-B: TiN-M2 system, M2S: uncovered M2 substrate.</p>     <p><a name="fig08"></a><img src="/img/revistas/dyna/v73n149/a07fig08.gif" border="0"></p>     <p> <b>Figura 8.</b> Variaci&oacute;n de la dureza con el desplazamiento relativo   del indentador (RID) para un sistema TiN-M2 de 3&#181;m de espesor de capa.   h es la profundidad m&aacute;xima y t el espesor de la capa.    <br>     <b>Figure 8.</b> Hardness Vs relative indenter displacement (RID) plot obtained     for TiN (3&#181;m thickness) onto M2 steel system. h: maximum depth, t: film&#8217; thickness.     The error bars are two standard deviations in length.</p>     <p>La <a href="#fig07">figura 7</a> compara curvas P-h obtenidas para el material con y sin recubrimiento,   claramente se ve el efecto &#8220;endurecedor de la capa&#8221; (menor penetraci&oacute;n   del indentador en el sistema TiN-M2 que en el sustrato solo a la misma carga   m&aacute;xima), el cual a medida que se aumenta la carga se va perdiendo.</p>     ]]></body>
<body><![CDATA[<p>La   <a href="#fig08">figura 8</a> muestra la variaci&oacute;n de la dureza con la penetraci&oacute;n   relativa del indentador (profundidad m&aacute;xima sobre el espesor de la capa).   La regi&oacute;n R1 mostrada en la <a href="#fig08">figura 8</a> corresponde a la zona en donde   la dureza puede continuar aumentando o volver a disminuir, como ya se dijo   en la secci&oacute;n 3 las razones para esto todav&iacute;a est&aacute;n en   discusi&oacute;n, y parece haber un efecto combinado tanto de la miroestructura   y topograf&iacute;a del material estudiado como de la geometr&iacute;a del   indentador empleado. </p>     <p>Generalmente las propiedades   correspondientes solo a la capa, sin influencia del sustrato, se obtienen para   profundidades de indentaci&oacute;n inferiores   a 1/10 de la capa (Korkunsky A et al 1998). Sin embargo, para el sistema estudiado   se encontr&oacute; que la profundidad debe ser mayor a 4/100 e inferior a 7/100,   o un valor RID de entre 0.04 y 0.07, esto para evitar los problemas de la regi&oacute;n   R1 y de la regi&oacute;n R3 en donde ya comienza un agrietamiento m&aacute;s marcado y la influencia del sustrato.</p>     <p>De esta manera, en la regi&oacute;n R2   se pueden evaluar propiedades de la capa sin tener influencia de estos efectos   antes mencionados. Sin embargo, ya se observa la presencia de grietas en forma   de escal&oacute;n de corte iguales (Bhowmick S. 2003) que los mostrados para   la regi&oacute;n R3 en la <a href="#fig09">figura 9</a>. As&iacute; los valores de dureza y m&oacute;dulo   de elasticidad para la capa fueron de 25 GPa y 400 GPa respectivamente, que coincide con los reportados en la literatura (Korkunsky A. M. 1998) </p>     <p><a name="fig09"></a><img src="/img/revistas/dyna/v73n149/a07fig09.gif" border="0"></p>     <p> <b>Figura 9.</b> Imagen MFA, de indentaci&oacute;n hecha 250 mN (regi&oacute;n   R3) sobre una capa TiN de 3&#181;m de espesor sobre acero M2, la flecha se&ntilde;ala   grietas tipo escal&oacute;n de corte.    <br>       <b>Figure 9.</b> AFM image shown the imprint left by a 250 mN Vickers indentation       on Ti-M2 system, arrow points to shear step crack.</p>     <p><b>3.3	Microindentaci&oacute;n y macroindentaci&oacute;n</b></p>     <p>La regi&oacute;n R3 de la <a href="#fig08">figura 8</a> corresponde a cargas de microindentaci&oacute;n   en la cual se detecta f&aacute;cilmente agrietamiento en la superficie de la   capa cer&aacute;mica como se muestra en la <a href="#fig09">figura 9</a>. Estas evolucionan, hasta   que en la regi&oacute;n R4, correspondiente a cargas de macroindentaci&oacute;n,   se tiene un agrietamiento extensivo y como se muestra en la <a href="#fig10">figura   10</a> se producen   las primeras grietas radiales en los v&eacute;rtices de la indentaci&oacute;n   que son promovidas por la recuperaci&oacute;n el&aacute;stica del sustrato,   por otro lado el apilamiento promueve la generaci&oacute;n de grietas circulares   GC. Sin embargo, debido a la influencia del sustrato en la generaci&oacute;n   de las grietas radiales, la ecuaci&oacute;n 7 para medici&oacute;n de K1C en   materiales en volumen no puede ser aplicada (Meza J. M. 2004). </p>     <p><a name="fig10"></a><img src="/img/revistas/dyna/v73n149/a07fig10.gif" border="0"></p>     <p> <b>Figura 10.</b> Imagen MEB de indentaci&oacute;n hecha 5kg (regi&oacute;n   R4) sobre una capa TiN de 3&micro;m de espesor sobre acero M2, la flechas se&ntilde;alan   grietas tipo GC &#8220;circunferenciales o tipo marco&#8221; y tipo GR &#8220;radiales&#8221;.    ]]></body>
<body><![CDATA[<br>     <b>Figure 10.</b> SEM image shown the imprint left by a 50 Kg Vickers indentation     on Ti-M2 system, arrows points to circumferential or frame crack (GC) and     radial cracks (GR).</p>     <p>En los sistemas TiN/M2 los patrones generados por las grietas laterales no   corresponden a los propuestos por Li X. et al., 1999 y Chiang et al. 1982,   para evaluar la adherencia de la capa al sustrato y por eso no pueden ser utilizadas   para tal prop&oacute;sito. Sin embargo, las indentaciones Rockwell C producen   descascaramiento de la capa conocido en la literatura como Spalling (<a href="#fig11">figura   11</a>), &eacute;ste permite establecer las cargas cr&iacute;ticas a las cuales   el sustrato pierde adherencia. En el sistema estudiado esta carga fue de 60   Kg, que coincide con los valores reportados para sistemas similares pero obtenidos   por rayado de la capa (Brasimet 2003). </p>     <p><a name="fig11"></a><img src="/img/revistas/dyna/v73n149/a07fig11.gif" border="0"></p>     <p><b>Figura 11.</b> Imagen MEB de indentaci&oacute;n Rockwell C hecha sobre   una capa TiN aplicada en acero M2 a 60 Kg. Se muestra un descascaramiento en   el borde de la indentaci&oacute;n    <br>     <b>Figure 11.</b> SEM image shown the imprint left by a 60 Kg. Rockwell indentation     on Ti-M2 system. Delamination occurs at the imprint edge.</p>     <p>La <a href="#fig11">figura 11</a> muestra un indentaci&oacute;n realizada   en BaTiO<sub>3</sub> (en vol&uacute;men)   a 1 Kg, claramente se observan las grietas radiales que emanan de los v&eacute;rtices   de la indentaci&oacute;n las que permiten calcular la tenacidad a la fractura   de estos materiales, sin embargo previamente se debe conocer el m&oacute;dulo   de elasticidad lo cual se hizo por medio de nanoindentaci&oacute;n. El valor   de K1C obtenido fue de 0.85 MPavm, que coincide con los reportados en la literatura   (Cook R. F. et al 1983) .</p>     <p>Existen otras aplicaciones en las que son &uacute;tiles los indentadores esf&eacute;ricos.   Aprovechando que a medida que aumenta la carga la geometr&iacute;a de contacto   no se mantiene constante y esto permite definir la deformaci&oacute;n relativa   como el di&aacute;metro de la huella dejada sobre el di&aacute;metro del indentador,   as&iacute; se pueden obtener curvas esfuerzo deformaci&oacute;n relativa de   las que se puede obtener informaci&oacute;n sobre el &iacute;ndice de endurecimiento   y determinaci&oacute;n del l&iacute;mite de fluencia en materiales cer&aacute;micos,   lo que no es sencillo mediante ensayos de tracci&oacute;n. A &eacute;ste respecto   se puede consultar sobre la mec&aacute;nica de la fractura de contacto hertziano   los trabajos de Frank y Lawn 1967 y sobre aplicaciones los trabajos de Lawn   B. R 1998, y Swain M. V. 1998.</p>     <p><a name="fig12"></a><img src="/img/revistas/dyna/v73n149/a07fig12.gif" border="0"></p>     <p><b>Figura 12.</b> Micrograf&iacute;a indentaci&oacute;n   Vickers a 1Kg hecha sobre BaTiO<sub>3</sub>, grietas radiales son claramente visibles.    <br>   <b>Figure 12.</b> Micrograph shown the imprint left by a 1 Kg. Vickers indentation   in BaTiO<sub>3</sub> bulk ceramic. Radial cracks are clearly visible.</p>     ]]></body>
<body><![CDATA[<p><b>4.	CONCLUSIONES</b></p>     <p>Las t&eacute;cnicas de indentaci&oacute;n son una gran herramienta     para la medici&oacute;n de las propiedades mec&aacute;nicas de materiales     cer&aacute;micos,     en particular de su dureza, tenacidad a la fractura y modulo de elasticidad.     Para esto es necesario combinar el uso de varios tipos de equipos que permitan     la aplicaci&oacute;n cargas muy bajas conocidas como cargas de nanoindentaci&oacute;n     hasta cargas altas o de macroindentaci&oacute;n, adem&aacute;s de esto es     necesario el uso de distintos tipos de geometr&iacute;a de indentadores dependiendo     de las propiedades que se quieran medir. Sin embargo, la interpretaci&oacute;n     de los resultados debe ser cuidadosa ya que los diversos modelos para el     c&aacute;lculo de estas propiedades, son v&aacute;lidos s&oacute;lo bajo     ciertas condiciones.</p>     <p><b>AGRADECIMIENTOS</b></p>     <p> Este trabajo fue parcialmente financiado por el Instituto Colombiano para     las Ciencias COLCIENCIAS bajo contrato RC 596-2002 c&oacute;digo 118-08-12746,     y por la Direcci&oacute;n de Investigaciones de la Universidad Nacional de     Colombia- Medell&iacute;n DIME bajo contrato 030805560. Los autores agraden     la contribuci&oacute;n de BRASIMET unidad de Santo Amaro, S&atilde;o Paulo-Brasil,     por proveer las capas PVAPVD y al laboratorio de fen&oacute;menos de superficie     de la Escuela polit&eacute;cnica de la Universidad de S&atilde;o Paulo, por     permitir el uso de su laboratorio. </p>     <p><b>REFERENCIAS</b></p>     <!-- ref --><p>[1]	ASTM C 1327-99,&#8221;Standard Test Method for Vickers indentation hardness   of Advanced Ceramics,&#8221; Annual book of ASTM Standards, Vol 14.02, (1999)    &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000118&pid=S0012-7353200600020000700001&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --><!-- ref --><br>   [2]	ANSTIS G. R., CHANTIKUL P., LAWN B. R., &#8220;A Critical Evaluation of   Indentation Techniques for Measuring Fracture Toughness: I. Direct crack Measurement,&#8221; J.   Am. Ceram. Soc., 64 [9], 533-38, (1981).    &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000119&pid=S0012-7353200600020000700002&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --><!-- ref --><br>   [3]	ANTUNES J., CAVALEIRO A., MENEZES L., SIM&Otilde;ES M., FERN&Aacute;NDEZ   J., &#8220;Ultra-Microhardness testing Procedure UIT Vickers Indenter,&#8221; Surf.   Coat. Tech, 149, 27-35, (2002).    &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000120&pid=S0012-7353200600020000700003&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --><!-- ref --><br>   [4]	BHOWMICK S., KALE A. N., JAYARAM V., BISWAS S. K., &#8220;Contact damage   in TiN coating on steel,&#8221; Thin Solid Films., 436, 250-258, (2003).    &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000121&pid=S0012-7353200600020000700004&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --><!-- ref --><br>   [5]	BOLSHAKOV, A., PHARR, G.M. &#8220;Influences of pile up on the measurement   of mechanical properties by load an depth sensing indentation techniques,&#8221; J.   Mater. Res., 13 [4], 1049-1058, (1998).    &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000122&pid=S0012-7353200600020000700005&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --><!-- ref --><br>   [6]	BOUZAKIS K. D., MICHAIDILIS N., HADJIYIANNIS S., SKORDARIS, ERKENS G., &#8220;The   effect of specimen roughness and indenter tip geometry on the determination   accuracy of thin hard coatings stress-strain laws by nanoindentation,&#8221; Mater.   Charact., 49, 149-156, (2003).    &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000123&pid=S0012-7353200600020000700006&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --><!-- ref --><br>   [7]	Brasimet. Divisi&oacute;n DUROTIN. Cat&aacute;logo de productos. (2003)    &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000124&pid=S0012-7353200600020000700007&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --><!-- ref --><br>   [8]	COOK R. F., FREIMAN S. W., LAWN B. R., POHANKA R. C., &#8220;Fracture of   ferroelectric ceramics,&#8221; ferroelectrics., 50 [1-4], 267-272, (1983).    &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000125&pid=S0012-7353200600020000700008&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --><br>   [9]	CHIANG S. S., MARSHALL D. B., EVANS A. G., &#8220;A simple method for adhesion   measurements,&#8221; en: Surface and interfaces in ceramics and ceramics-metals   system. Ed Pask, J. A., and A. G. Evans. Plenum press, New York. 603-617, (1981).    <!-- ref --><br>   [10]	DOERNER, M.F., NIX, W.C, &#8220;A method for interpreting the data depth-sensing   indentation instruments,&#8221;. J. Mater. Res., 1 [4], 601-609, (1986).    &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000127&pid=S0012-7353200600020000700010&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --><!-- ref --><br>   [11]	EVANS A. G., CHARLES E. E., &#8220;Fracture Toughness determination by   indentation,&#8221; J. Amer Cerm. Soc., 59 [7-8], 371-372, (1976).    &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000128&pid=S0012-7353200600020000700011&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --><!-- ref --><br>   [12]	FISCHER-CRIPPS A.C., &#8220;A review of analysis methods for sub-micron   indentation testing,&#8221;. 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Sci., 10 [6], 1049-1081, (1975).    &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000133&pid=S0012-7353200600020000700016&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --><!-- ref --><br>   [17]	LAWN, B. R., &#8220;Indentation of Cermics With Spheres: A Century After   Hertz,&#8221; J. Am. Ceram. Soc., 81 [8], 1977-1994, (1998).    &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000134&pid=S0012-7353200600020000700017&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --><!-- ref --><br>   [18]	LI XIANDONG, DIAO D., BHUSHAN B., &#8220;Fracture mechanisms of thin amorphous   carbon films in nanonindentation,&#8221; Acta Met., 45 [11], 4453-4461, (1997).    &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000135&pid=S0012-7353200600020000700018&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --><!-- ref --><br>   [19]	LOUBET J., GEORGES J., MEILLE G., &#8220;Vickers Indentation Curves of   elastoplastic Materials,&#8221; In: Blau P. J:, Lawn B.R. (Eds.), Microindentation   Techniques in Materials science an Engineering ASTM STP 889, American Society   for testing and Materials, Philadelphia, PA, p. 72-89, (1986)    &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000136&pid=S0012-7353200600020000700019&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --><!-- ref --><br>   [20]	MEZA, J. M., &#8220;Tenacidad a la Fractura en Cer&aacute;micos,&#8221; Tesis   de grado. Universidad Nacional de Colombia Sede Medell&iacute;n. Septiembre   de 2001[    &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000137&pid=S0012-7353200600020000700020&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --><!-- ref -->STANDARDIZEDENDPARAG]<br>   [21]	MEZA J M. &#8220;T&eacute;cnicas de indentaci&oacute;n aplicadas al estudio   de propiedades mec&aacute;nicas de recubrimientos cer&aacute;micos de TiN,&#8221; Tesis   de maestr&iacute;a Universidad Nacional de Colombia. Mayo de 2004.    &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000138&pid=S0012-7353200600020000700021&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --><!-- ref --><br>   [22]	NEWEY D., WILKINS M. A., POLLOCK H. M., &#8220;An ultra-low load penetration   hardness tester,&#8221; J. Phys. E. Sci. Instrum., 15, 119-122, (1982)    &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000139&pid=S0012-7353200600020000700022&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --><!-- ref --><br>   [23]	NIX W. N., &uml;Elastic an plastic properties of thin films on substrates:   nanoindentation techniques,&uml; Mater. Sci. Eng., A234-236, 37-44, (1997).    &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000140&pid=S0012-7353200600020000700023&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --><!-- ref --><br>   [24]	OLIVER, W.C., PHARR G.M, &#8220;An improved technique for determining   hardness and elastic modulus using load and displacement sensing indentation   experiments,&#8221; J. Mater. Res., 7 [6], 1564-1583, (1992).    &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000141&pid=S0012-7353200600020000700024&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --><br>   [25]	OLIVER, W. C., G.M. PHARR, &#8220;Measurement of hardness and elastic   modulus by instrumented indentation: Advances in understanding and refinements   to methodology,&#8221; J. Mater. Res., 19, 3-20, (2004).    ]]></body>
<body><![CDATA[<!-- ref --><br>   [26]	PETHICA J.B, HUTCHINGS R., OLIVER W.C., &#8220;Hardness measurement at   penetration depths as small as 20 nm,&#8221; Philosophical Magazine, A 48 [4],   593-606, (1983).    &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000143&pid=S0012-7353200600020000700026&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --><!-- ref --><br>   [27]	PHARR G. M., HARDING D. S., OLIVER W. C., &#8220;Measurement of fracture   toughness in thin films and small volumes using nanoindentation methods,&#8221; Materials   Research Society Symposium Proceedings, Materials Research Society Fall Meeting,   449-461, (1994).    &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000144&pid=S0012-7353200600020000700027&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --><!-- ref --><br>   [28]	QUINN, J. B., QUINN, G. D., &#8220;Indentation Brittleness of Ceramics:   a Fresh Approach,&#8221; J. Mater. Sci., 32, 4331-4346, (1997).    &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000145&pid=S0012-7353200600020000700028&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --><!-- ref --><br>   [29]	SWAIN M.   V., &#8220;Mechanical property characterization of small volumes   of brittle materials with spherical tipped indenters,&#8221; Mater. Surf. Eng.,   A 253, 160-166, (1998).    &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000146&pid=S0012-7353200600020000700029&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --><!-- ref --><br>   [30]	TABOR, D., &#8220;The hardness of Metals,&#8221; Clarendon Press. Oxford,   (1951).    &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000147&pid=S0012-7353200600020000700030&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --><!-- ref --><br>   [31]	TABOR D., &#8220;Indentation: Hardness and Its Measurement: Some Cautionary   Comments,&#8221; In: Blau P. J:, Lawn B.R. (Eds.), Microindentation Techniques   in Materials science an Engineering ASTM STP 889, American Society for testing   and Materials, Philadelphia, PA, p. 129-159, (1986)    &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000148&pid=S0012-7353200600020000700031&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --><!-- ref --><br>   [32]	VANLANDINGHAM M. R., &#8220;Review of instrumented indentation,&#8221; J.   Res. Natl. Inst. Stand. Technol, 108, 249-265, (2003)&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;[&#160;<a href="javascript:void(0);" onclick="javascript: window.open('/scielo.php?script=sci_nlinks&ref=000149&pid=S0012-7353200600020000700032&lng=','','width=640,height=500,resizable=yes,scrollbars=1,menubar=yes,');">Links</a>&#160;]<!-- end-ref --> ]]></body><back>
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