Resumen

PIRATOBA MORALES, Ulises; MARINO CAMARGO, Álvaro  y  OLAYA FLOREZ, Jhon Jairo. MAGNETRÓN DESBALANCEADO: CONFIGURACIÓN  DEL CAMPO MAGNÉTICO Y SU CORRELACIÓN CON EL CAMPO DE 2 ESPIRAS CONCÉNTRICAS . Rev. acad. colomb. cienc. exact. fis. nat. [online]. 2012, vol.36, n.138, pp.37-44. ISSN 0370-3908.

Los magnetrones desbalanceados son cada vez más usados en investigación, tecnología y aplicaciones industriales, particularmente aquellas relacionadas con procesos de deposición física de vapor (PVD) usados en el crecimiento de películas delgadas (Marulanda et al., 2011; Olaya et al., 2011) Estas películas tienen amplias aplicaciones como recubrimientos duros, ópticos, decorativos y electrónicos. El empleo de dichos magnetrones, permite incrementar significativamente las velocidades de crecimiento de las películas y la eficiencia de los procesos, mejorándose ostensiblemente la calidad de las películas obtenidas. En éste trabajo se midieron las componentes axial y radial de campos magnéticos generados por magnetrones desbalanceados con simetría axial; se encontró que el campo magnético de un magnetrón construido con un imán cilíndrico y otro anular, concéntricos, se correlaciona muy bien con el campo magnético generado por 2 espiras coplanares y concéntricas, cuyas corrientes circulan en sentidos opuestos. El campo magnético teórico fue calculado aplicando la ley de Biot – Savart, y evaluado numéricamente con el programa MatLab.

Palabras clave : magnetrón desbalanceado; UBMS; campo magnético.

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